(1) 對(duì)活性氣體的抽除
對(duì)N2、O2、CO和CO2等氣體的排除主要靠淀積于陽極筒內(nèi)壁上的鈦膜的化學(xué)吸附。
(2) 對(duì)氫氣的抽除
對(duì)氫氣的抽除有化學(xué)吸附,也有擴(kuò)散、吸收、溶解作用。
(3) 對(duì)惰性氣體的抽除
對(duì)惰性氣體的排除,主要靠離子“掩埋”,被電離的惰性氣體的離子轟擊陰極時(shí),有以下三種情況:
a、離子直接打入陰極內(nèi),或打入陰極邊緣對(duì)面的陽極板上的鈦淀積層內(nèi);
b、斜射的離子切入陰極表面,離子和鈦一起被掀掉而沉積在陰極板的周圍或其它地方;
c、離子沒有打入板內(nèi),但是從陰極得到電子而復(fù)合為中性原子,然后又反射到陽極內(nèi)表面的鈦膜中。